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熱電偶式真空計的測量原理是基于加熱絲周圍氣體的導(dǎo)熱率與氣體的稀薄程度(真空度) 之間所存在的依賴關(guān)系。當(dāng)真空計與被測真空系統(tǒng)相接之后，隨著真空度的提高，加熱絲附近氣體逐漸變得稀薄，氣體分子平均自由程加大，共導(dǎo)熱率降低。由于加熱電流恒定，加熱絲所產(chǎn)生的熱量也巨免但通過氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量卻因?qū)Ь翊�的降低而減少，因此加熱絲的溫度升高。通過熱電憫將這種溫度的變化轉(zhuǎn)換成熱電勢變化，送顯示儀表指示或記錄，并直接以真空度刻度顯示讀數(shù)。
　　這種儀表的aag量上限為13.33mPa(10-4mm Hg)。若真空度再總則氣體更加稀薄，使得由于氣體分子碰撞發(fā)熱絲而帶走的熱量比由于熱幅射及發(fā)熱絲本身熱傳導(dǎo)歷揩走的熱量要小得多，以至在發(fā)熱絲的總損失中由于氣體熱傳導(dǎo)而損失的熱量所占的比例大大降低，表就不能準(zhǔn)確地反映真空度的變化。
　　該儀表的優(yōu)點(diǎn)是可測量氣體和蒸汽的壓強(qiáng)，并實現(xiàn)了真空度和電信號間的變換，動檢測和控制;缺點(diǎn)是能檢測的真空度不太高而且怕振動。

可以產(chǎn)生熱電效應(yīng)的材料很多，但并不都能有穩(wěn)定的熱電關(guān)系而適于做熱電偶材料，目前熱電偶材料已標(biāo)準(zhǔn)化，并已測山丫它們的熱電關(guān)系。有的顯示儀表是直接和熱電偶配套的，可以直接從表上讀出溫度的示數(shù)，當(dāng)沒有配套的顯示儀表時，可由一般的毫伏表或電位計讀出示數(shù)再查熱電偶的熱電關(guān)系表，換算成溫度。 
常用的熱電捅主要有以下幾種 
1)鉑銘—鉑，代號LB主要用來測星80D-1600℃溫度。 
2)鎳鉆—鎳硅、代號EU測量l000-1300℃以下的溫度。 
3)鎳鉻—考銅、代號EA、測量600-800℃以下溫度。 
4)鉑鈴—鉑鉻代號LL，是兩種成分不同的鉑銘合金所做成的 
一種新型熱電偶，涸溫范圍可高達(dá)1800℃，一般也稱之謂雙鉑銠熱電偶。 
在使用時，這些熱電偶都外加保護(hù)套以延長其使用存命。護(hù)嘗的材料有金屬的或陶瓷的，視溫度而異。